Das zweite Bildsignal liefert Rückstreuelektronen. Es sind schnelle Elektronen, die sich nur auf geraden Bahnen bewegen. Der Primärelektronenstrahl regt diese aus einigen Mikrometern Probentiefe an. Diese sogenannte Anregungsbirne beschränkt die Auflösung auf Vergrößerungen bis ca. 5000-fach. Je höher die Ordnungszahl der Atome ist, desto höher ist die Ausbeute der Rückstreuelektronen wegen der Wechselwirkung mit den Hüllenelektronen der angeregten Atome.
Der Detektor wird Robinsondetektor genannt und wird als Ring oder Gabel über der Probe angebracht. Er erhält mehr Signale von schweren als von leichten Atomen und bildet vorwiegend den Elementkontrast ab. Vor allem bei Bruchproben entsteht Topographieinformation, weil der Detektor auch Sekundärelektronen erhält, und zwar mehr von Kanten als von Flächen. Der Eindruck des Reliefs ist daher ein anderer als bei reinen Sekundärelektronenbildern.

zurück